Telepon: +86 19181068903

MSB Series Medium Frékuénsi Sputtering Power Supply

Katerangan pondok:

RHH séri catu daya RF ngandelkeun téknologi generasi RF dewasa pikeun nyayogikeun palanggan catu daya RF kalayan kakuatan anu langkung ageung, akurasi anu langkung luhur sareng réspon gancang.Kalawan fase bisa diatur, pulsa controllable, tuning digital sarta fungsi lianna.Widang lumaku: industri photovoltaic, industri tampilan panel datar, industri semikonduktor, industri kimia, laboratorium, panalungtikan ilmiah, manufaktur, jsb

Prosés lumaku: plasma ditingkatkeun déposisi uap kimia (PECVD), etching plasma, beberesih plasma, sumber ion frékuénsi radio, difusi plasma, polimérisasi plasma sputtering, sputtering réaktif, jsb.


Rincian produk

Tag produk

Kirim surélék ka kami

Fitur

● Satengah-bata jeung rak Gunung gaya

● Ngadopsi kadali digital pinuh, kalawan menu operasi merenah tur euyeub

● Frékuénsi tuning, pulsa jeung fungsi singkronisasi pulsa

● Kalayan fungsi sinkronisasi fase CEX

● fungsi panyalindungan sampurna

Rincian produk

Input tegangan input: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (Spesifikasi husus bisa ngaropéa)
Frékuénsi input: 47 ~ 63Hz
Kaluaran Frékuénsi kaluaran: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
rentang Tuning: ± 5%
Kaluaran kakuatan: 1.5 ~ 5kW
Regulasi rentang kakuatan kaluaran: 1 ~ 100%
Impedansi kaluaran: 50Ω+j0
panganteur kaluaran: tipe N
Modeu kaluaran: kontinyu, pulsa
Frékuénsi pulsa: 100Hz ~ 100kHz
Siklus tugas: 5 ~ 95%
Indéks kinerja Faktor kakuatan: 0,98
Akurasi stabilitas frékuénsi: ± 0,005%
Efisiensi: 75% (dina kaluaran dipeunteun)
Harmonik: <-45dBc
Leumpang: <-50dBc
Antarbeungeut kontrol éksternal: kuantitas analog, komunikasi sareng sinkronisasi
Mode komunikasi: Standar RS485 panganteur komunikasi;Pilihan éter CAT, Ethernet industri, jsb.
Catetan: produk terus innovate sarta kinerja terus ningkat.Katerangan parameter ieu kanggo rujukan wungkul.


  • Tulis pesen anjeun di dieu sareng kirimkeun ka kami

    Kategori produk

    Ninggalkeun Pesen Anjeun