Pasokan listrik saklar gelombang mikro mangrupikeun jinis catu daya gelombang mikro anyar dumasar kana téknologi inverter frekuensi tinggi IGBT. Éta ngahijikeun catu daya tegangan tinggi anoda, catu daya filamén sareng catu daya médan magnét (kecuali catu daya gelombang mikro 3kW). Gelombang magnetron nyadiakeun kaayaan gawé. Produk ieu dipaké dina MPCVD, gelombang mikro plasma etching, gelombang mikro degumming plasma jeung widang lianna.